适用范围及特点
本控制器是在本公司CF2B-2B单相可控硅闭环触发控制器的基础上,
增加了离子镀膜机直流溅射电源的一些特殊控制功能。
用户只要根据磁控溅射靶的功率要求,
选择变压器、续流电抗器**可以非常方便的组成所需的电源。
本控制器设有启辉控制电路,负载打火瞬态保护及自动恢复电路,
并具有系统频繁打火或负载短路自动保护功能,
以及与外部水压继电器的联锁控制功能,
是离子镀膜机直流溅射电源的理想控制器。
主要参数
**大控制功率:4KVA。
辉光放电电流:≥50mA 时自动切断启辉电路。
输入控制信号:
直流电压0-10V或外接10K给定电位器。
调节特性:恒流。
保护特性:
系统打火瞬间电流只要超出使用电
流1.5倍电源自动切断并自动复位。
负载在5秒内连续打火超过4次或负
载短路持续时间大于5秒电源自动关
断,待故障排除后手动复位。
延时特性:
开机起动或保护后的自复位启动时
间不大于5秒。
外型尺寸:175×114×60mm
整机重量:1.5kg